SK海力士是全球知名的存儲(chǔ)器廠商,2021年2月1日,SK海力士M16新廠舉行了竣工儀式。
官方信息顯示,SK海力士將首次在M16配備EUV(Extreme Ultraviolet,極紫外)光刻機(jī),通過在M16廠采用先進(jìn)基礎(chǔ)設(shè)備,準(zhǔn)備把新廠發(fā)展成為公司的下一代發(fā)展動(dòng)力。據(jù)路透社報(bào)道,SK海力士于2月24日宣布,已與ASML簽訂了一項(xiàng)為期5年、價(jià)值4.8萬億韓元(約43.4億美元)的采購(gòu)合同。SK海力士將購(gòu)入價(jià)值4.8萬億韓元的EUV光刻機(jī)設(shè)備。SK海力士在一份監(jiān)管文件中稱,這筆交易是為了實(shí)現(xiàn)下一代工藝芯片量產(chǎn)的目標(biāo)。
SK海力士計(jì)劃運(yùn)用EUV光刻機(jī),從今年下半年起生產(chǎn)第四代1a納米級(jí)DRAM產(chǎn)品。SK海力士今后將提高EUV設(shè)備利用率,進(jìn)一步增強(qiáng)存儲(chǔ)器半導(dǎo)體相關(guān)的先進(jìn)工程技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力。
SK海力士M16于2018年11月開建,工廠建設(shè)總投資3.5萬億韓元。M16廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品,是SK海力士國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)設(shè)施中規(guī)模最大的工廠。